三木SEO-Kinco手持式触摸屏在单晶炉应用

2022-12-30拜候人数：6242

1、行业配景

单晶炉是一种于惰性气体（氮气、氦气为主）情况中，用石墨加热器将多晶硅等多晶质料融化，用直拉法生长无错位单晶的装备。硅料经加工获得高纯度多晶硅，将多晶硅置入单晶炉中，可生长获得单晶硅。单晶炉制备单晶硅是半导体工艺的第一道工序，获得的单晶硅用来制造硅片，是以单晶炉于半导体财产中具备主要作用。

单晶硅可采用区熔法、直拉法举行制备，直拉法可生长高纯度单晶硅，可运用于半导体财产中，是主流制备工艺。全世界半导体财产不停成长壮年夜，单晶炉市场需求随之不停增加，2021年，市场范围约为128亿元。我国半导体财产成长极其迅速，晶圆厂设置装备摆设鼓起，出产线不停增多，拉动市场对于高纯度单晶硅需求快速上升。于此配景下，我国单晶炉行业迎来成长机缘。

2、工艺先容

如上图所示，单晶炉有着较为繁杂的一套操作工艺流程，对于坩埚晋升扭转与定位，炉体主副室起落与旋开，热屏的起落等各类操作都需要于触摸屏上完成，同时单晶炉装备较高，操作职员需爬高一边不雅察装备环境一边操YABO鸭脖官网作触摸屏画面，对于此，一个可挪动的操作手柄显患上至关主要。

别的于挪动操作历程中，单晶硅都极为昂贵，于各工序操作中若有异样需要具备紧迫住手功效，防止更年夜经济丧失，所有的操作日记等都需要记载下来形成汗青报表好供过后追溯。

同时单晶炉装备由于节制较为繁杂，工序繁多，常利用年夜中型品牌PLC，西门子，倍福等，以是对于在触摸屏还有需撑持年夜中型PLC的标签通信让工程建造起来越发利便快捷。

3、步科解决方案

1.基本规格：7 TFT，800×480像素，1677万真彩色；

2.尺度配置：10个可编程功效键，1个三选择开关、1个急停开关合用在安全性要求较高的场所；

3.实用设计：兼备按键及触控，运用场所更广，选择更矫捷；

4.利用经久：挪动操作手持终端标配5米电缆(十、15米可选),线缆可选柔性弹簧线，寿命长；

5.简朴安装：撑持VESA尺度(75×75妹妹孔距)支架、挂架安装，利便操作工携带。

4、方案特色

1.手持屏产物设计，触摸屏装备可自由挪动，利便调试；

2.自带急停开关，确保安全靠得住；

3.触摸屏面板配置多个可编程按键，矫捷运用，操作越发便当 ；

4.撑持西门子，倍福等年夜中型PLC标签通信和谈，组态开发效率越发高效；

5.撑持操作日记记载，数据采样，天生报表曲线，撑持导出数据表格文件。

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